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溅射Au对SnO2/Fe2O3薄膜气敏特性的影响

Influence of Au-sputtering on gas-sensing properties of SnO2/Fe2O3 film

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【作者】 马晓翠阎大卫肖智博

【Author】 MA Xiaocui1, YAN Dawei2, XIAO Zhibo2(1.Dept of Material,Sch of Sci,Shenzhen Univers ity,Shenzhen 518060,China;2.Coll of Elct Engin,Jilin University,Changchun 130023,China) 

【机构】 深圳大学理学院材料系吉林大学电子工程学院吉林大学电子工程学院 广东深圳518060吉林长春130023吉林长春130023

【摘要】 通过直流溅射Au对PCVD方法制备的SnO2/Fe2O3双层薄膜的SnO2表面进行了修饰,并对修饰后的Au SnO2/Fe2O3薄膜的气敏特性进行了观测。结果表明,Au的催化作用使Au SnO2/Fe2O3薄膜气敏器件对CO,H2,C2H5OH等气体的灵敏度增大2~3倍,相应于最大灵敏度的工作温度均降低约60℃。这显示直流溅射Au是改善SnO2/Fe2O3双层薄膜气敏性能的一种有效手段。

【Abstract】 The SnO2 surfaces of SnO2/Fe2O3 doublelay er film with a plasma chemical vapor deposition (PCVD) were modified by dcsputte ring Au particles.The gassensing properties for the modified AuSnO2/Fe2O 3 were measured.It is found that due to the catalytic action of Au the sensiti vities of the AuSnO2/Fe2O3 on gas CO,H2 and C2H5OH increase by a f actor of 3~4,and that the temperatures for the maximum sensitivity are about 60 ?℃ lower than before modified.This shows that dcsputtering Au is an effectiv e surface modification method to improve gassensing properties of the SnO2/F e2O3.

【基金】 深圳市科技局资助项目(200012);深圳大学科研基金资助项目(9913)
  • 【文献出处】 传感器技术 ,Journal of Transducer Technology , 编辑部邮箱 ,2003年06期
  • 【分类号】TN305.92
  • 【被引频次】2
  • 【下载频次】82
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