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二氧化硅薄膜材料热传导尺寸效应的实验研究
Experimental study of the thermal conduction size effect for silicon dioxide film
【摘要】 对微米SiO2薄膜材料沿膜面方向热传导尺寸效应进行了实验研究。结果表明,膜厚从微米数量级的尺寸开始,其传热的热导率就已开始体现出鲜明的膜厚尺寸依赖特性(即sizeeffect),经由微观能量输运理论分析后,得到了实验与理论相吻合的结果。
【Abstract】 The thermal conduction size effect along surface layer of micrometer SiO2 film is studied.The result indicates that the thermal conductivity of the film from the beginning of micrometer scale size shows clear size effect.The experiment result is as well as the analysis result by analyzing microscopic energy transport.
【关键词】 微米尺寸;
介质薄膜;
热导率;
尺寸效应;
【Key words】 micrometer size; medium film; thermal conductivity; size effect;
【Key words】 micrometer size; medium film; thermal conductivity; size effect;
【基金】 陕西省自然科学基金项目(2000C34)
- 【文献出处】 传感器技术 ,Journal of Transducer Technology , 编辑部邮箱 ,2003年05期
- 【分类号】TN304.055
- 【被引频次】4
- 【下载频次】196