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柔性微图形成型技术研究
The Study of Flexible Micro-Patterning
【摘要】 柔性微图形成型技术是微细加工技术的一个新的方向。介绍了一种新的柔性成型系统———三维定位压控微流系统 ,并用它制作了柔性微五边形、六边形和微沟道
【Abstract】 Flexible micropatterning techonology is promising in microfabrication. We introduce a novel flexible micropatterning system-3DP microsyringe system, and realized flexible pentagons,hexgons and channels.
【关键词】 软光刻；
柔性微图形成型技术；
柔性电子器件；
【Key words】 softlithography； flexible micropatterning； flexible electronic device；
【Key words】 softlithography； flexible micropatterning； flexible electronic device；
- 【文献出处】 传感技术学报 ,Journal of Transcluction Technology , 编辑部邮箱 ,2003年04期
- 【分类号】TN405
- 【被引频次】2
- 【下载频次】181