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硅压力传感器的非线性分析及优化设计

Nonlinearity Analysis and Superior Design for Silicon Pressure Transducer

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【Author】 SHEN Guifen\ FU Si\ DING Dehong\ YAO Pengjun\ ZHANG Hongqing\ FAN Jun\ LV Pin (Phsical Department, Liaoning University, Shenyang 110036 P.R.China)

【机构】辽宁大学物理系；辽宁大学物理系沈阳市110036；沈阳市110036；沈阳市110036；

【摘要】分析了硅压力传感器的线性与非线性 ,讨论了非线性产生的原因 ,并提出了硅压力传感器的优化设计方法更多还原

【Abstract】 The nonlinearity of silicon pressure transducer is analyzed, The reason of nonlinearity error is discussed. The superior design of silicon pressure transducer is propounded.更多还原

【关键词】压力传感器；非线性；线性度；内补偿；
【Key words】 pressure transducer； nonlinearity； linearity； inter compensate；

【基金】国家医药管理局科研计划基金项目;浙江省重点科研计划基金项目资助 (NO.97110 30 99)

【文献出处】传感技术学报 ,Journal of Transcluction Technology , 编辑部邮箱 ,2003年01期

【分类号】TP212.1
【被引频次】8
【下载频次】184

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