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微机械可调谐滤波器的研制(英文)

Micromechanical Tunable Optical Filter

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【作者】张瑞康；杨晓红；周震；徐应强；张玮；杜云；黄永清；任晓敏；牛智川；吴荣汉；

【Author】 Zhang Ruikang 1,Yang Xiaohong 2,Zhou Zhen 1,Xu Yingqiang 2,Zhang Wei 2,Du Yun 2, Huang Yongqing 1,Ren Xiaomin 1,Niu Zhichuan 2 and Wu Ronghan 2Project supported by National Natural Science Foundation of China (Nos.90104003 and 60137020),National High Technology Research and Development Program of China (No.2002AA31229Z) and State Key Development Program for Basic Research of China (No.G2000036603) Zhang Ruikang male,was born in 1973.He is engaged in the research on semiconductor materials and devices. Received 14 October 2002,revised manuscript received 16 December 2002○c 2003 The Chinese Institute of Electronics(1 Beijing University of Posts and Telecomunications,Beijing 100876,China) (2 Institute of Semiconductors,The Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China)

【机构】北京邮电大学；中国科学院半导体研究所；中国科学院半导体研究所北京100876；北京100083；北京100876；北京100083；

【摘要】利用 Ga As/Al Ga As分布反馈 Bragg反射镜在 Ga As衬底上制作了一个微机械的调谐滤波器 .该器件在 7V调谐电压下调谐范围达 2 8nm.更多还原

【Abstract】 A micromachined vertical cavity tunable filter with AlGaAs/GaAs distributed Bragg reflector is presented.This filter can be electrostatic tuning over a range of 28nm with an applied voltage of 7V.更多还原

【关键词】微机械可调谐滤波器；波分复用；分布反馈Bragg反射镜；
【Key words】 micromachined tunable filter； wavelength division multiplexing； distributed Bragg reflector PACCF； 5200H； 8160C；

【基金】国家自然科学基金 (批准号 :90 10 40 0 3 ;60 13 70 2 0 ) ;国家高技术研究发展计划 ( No.2 0 0 2 AA3 12 2 9Z);国家重点基础研究发展规划 ( No.G2 0 0 0 0 3 660 3 )资助项目~~

【文献出处】半导体学报 ,Chinese Journal of Semiconductors , 编辑部邮箱 ,2003年04期

【分类号】TN713
【被引频次】3
【下载频次】102

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