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SOI结构P型SiGe沟道混合模式晶体管器件模型研究

Device Model for SOI P-Type Bipolar-MOS Hybrid Mode Transistors with Strained SiGe Layer

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【作者】 夏克军李树荣王纯郭维廉郑云光陈培毅钱佩信

【Author】 Xia Kejun1,Li Shurong1,Wang Chun1,Guo Weilian1,Zheng Yunguang1, Chen Peiyi2 and Qian Peixin2(1 Institute of Electronics and Information,Tianjin University,Tianjin 300072,China) (2 Institute of Microelectronics,Tsinghua University,Beijing 100084,China)

【机构】 天津大学电信学院清华大学微电子所清华大学微电子所 天津300072天津300072北京100084北京100084

【摘要】 在带有应变SiGe沟道的SOIMOSFET结构中 ,把栅和衬底相连构成了新型的混合模式晶体管 (SiGeSOIBMHMT) .在SIVACO软件的器件数值模拟基础上 ,对这种结构的P型沟道管工作过程作了分析 ,并建立了数学模型 .提出在低电压 (小于 0 7V)下 ,衬底电极的作用可近似等效成栅 ,然后依据电荷增量 (非平衡过剩载流子 )的方法 ,推导出该结构的I V特性方程 .该方程的计算结果与器件模拟结果相一致 .

【Abstract】 Based on the structure of SOI MOSFET with a buried strained SiGe layer,a novel bipolar-MOS hybrid mode transistor (SiGe SOI BMHMT) is generated by connecting the gate to its substrate.A mathematic model for such a transistor of p type is presented grounding on the numerical device simulation carried out by the software SIVACO.It is demonstrated that the substrate electrode can be regarded as a gate under the condition of low voltage supply (<0.7V).The equation of its I-V characteristics is then deduced according to the method of charge increment.The calculated results of this equation are consistent with the ones from the numerical device simulation.

【关键词】 BMHMT器件模型SiGeSOI
【Key words】 BMHMTdevice modelSiGeSOI
【基金】 国家自然科学基金资助项目 (批准号 :6 9836 0 2 0 )~~
  • 【文献出处】 半导体学报 ,Chinese Journal of Semiconductors , 编辑部邮箱 ,2003年03期
  • 【分类号】TN32
  • 【被引频次】2
  • 【下载频次】97
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