节点文献

一种紧缩型的SOI3- d B多模干涉耦合器(英文)

Design and Fabrication of Ultracompact 3-dB MMI Coupler in Silicon-on-Insulator

推荐 CAJ下载
PDF下载
不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【Author】 Yan Qingfeng 1,Yu Jinzhong 1 and Liu Zhongli 2(1 State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics,Institute of Semiconductors, The Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China) (2 Microelectronics R&D Center,Institute of Semiconductors,The Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China)

【机构】中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室；中国科学院半导体研究所微电子中心北京100083；北京100083；北京100083；

【摘要】采用线锥形结构 ,在 silicon- on- insulator(SOI)材料上设计并实现了一种新的紧缩型 3- d B多模干涉耦合器(MMI) .与普通的矩形结构 3- d B MMI耦合器相比 ,该器件长度减少了 4 0 % .耦合器输出均衡度为 1.3d B,过剩损耗为 2 .5 d B.更多还原

【Abstract】 An ultracompact 3 dB coupler is designed and fabricated in silicon on insulator,based on 1×2 line tapered multimode interference (MMI) coupler.Comparing with the conventional straight MMI coupler,the device is ～40% shorter in length.The device exhibits uniformity of 1 3dB and excess loss of 2 5dB.更多还原

【关键词】多模干涉耦合器；线锥形波导； SOI；
【Key words】 multimode interference coupler； line tapered waveguide； silicon on insulator；

【基金】国家自然科学基金 (批准号 :69990 5 40 ;698962 60 );国家重点基础研究发展规划 (编号 :G2 0 0 0 0 3 66)资助项目~~

【文献出处】半导体学报 ,Chinese Journal of Semiconductors , 编辑部邮箱 ,2003年02期

【分类号】TN252
【被引频次】9
【下载频次】90

知网节下载

节点文献中：

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络

节点文献