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BSRF上的微细塑铸研究

Research on moulding of microstructure at BSRF

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【作者】 韩勇； 彭良强； 陈迪； 伊福廷； 张菊芳； 黄军容；

【Author】 HAN Yong 1,PENG Liang qiang 1,CHEN Di 2,YI Fu ting 1, ZHANG Ju fang 1,HUANG Jun rong 1 (1. Institute of High Energy Physics,CAS,Beijing 100039,China; 2. Research Institute of Micro/Nanometer Science and Technology, Shanghai Jiao Tong University,Shanghai 200030,China)

【机构】 中国科学院高能物理研究所； 上海交通大学微纳米科学技术研究院； 中国科学院高能物理研究所 北京100039； 北京100039； 上海200030； 北京100039；

【摘要】 利用北京同步辐射装置 (BSRF)上的LIGA技术制作了镍模具 ,试验了溶液浇铸、反应浇铸、大气模压、真空模压四种不同的塑铸方法。结果表明采用自制模压装置 ,采用排气法可以获得与真空模压相近的效果 ;真空模压在这四种方法中具有最好的精度 ,但若不进行工艺参数优化 ,也会导致变形等问题

【Abstract】 Four moulding methods (solution cast, reaction cast, hot embossing under air and hot embossing under vacuum) using Ni mould by standard LIGA process have been researched. It is shown that hot embossing under vacuum has the best precision and hot embossing under air can be used to obtain the results close to hot embossing under vacuum by exhaust.

【关键词】 LIGA； 塑铸； X射线；
【Key words】 LIGA； mould； X ray；
【基金】 863计划 (2 0 0 2AA40 415 0 );中国科学院知识创新工程基金(U 5 16 5 );北京市自然科学基金 (3 0 2 2 0 0 5 )
  • 【文献出处】 微纳电子技术 ,Micronanoelectronic Technology , 编辑部邮箱 ,2003年Z1期
  • 【分类号】TG249
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