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μTM技术在MEMS工艺中的应用

Applications of μTM in MEMS

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【作者】 陈默； 郑小林； 樊华； 李金；

【Author】 CHEN Mo 1,3 ,ZHENG Xiao-lin 1,2 ,FAN Hua 1 ,LI Jin 3(1.BioMEMS Lab of Microsystem Research Centre of CQU,Chongqing400044,China;2.The OTES Laboratory of CQU,Chongqing400044,China;3.Laboratory on Biomechanics&Biorheology under the State Education Commission,Chongqing400044,China)

【机构】 重庆大学微系统研究中心生物MEMS研究室； 生物力学及组织工程教育部重点实验室 重庆400044； 生物力学及组织工程教育部重点实验室； 重庆400044； 重庆400044； 光电技术及系统教育部重点实验室；

【摘要】 介绍了软光刻技术中的一项关键技术———微传递成模(μTM),阐述了其特点、不足及其基本的工艺流程。最后通过介绍其在加工Scottky二极管阵列和光波导耦合腔中的应用,说明μTM在微加工技术中具有广泛的应用前景。

【Abstract】 An important technology of soft lithography,namedμTM(microtransfer molding)is introduced.Its characters,disadvantages and processing technics are described.After that,through introducing fabrication of arrays of Schottky diodes and waveguide couplers usingμTM,we illustratedμTM application abroad in MEMS in the future.

【关键词】 微机电系统； 软光刻技术； 微传递成模； Scottky二极管阵列；
【Key words】 MEMS； soft lithography； μTM； Schottky diodes array；
【基金】 重庆市科技攻关基金项目资助
  • 【文献出处】 微纳电子技术 ,Micronanoelectronic Technology , 编辑部邮箱 ,2003年11期
  • 【分类号】TN305.7
  • 【被引频次】2
  • 【下载频次】76
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