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微电子学技术发展的瓶颈和出路

The Bottlenecks of Further Development of Microelectronics

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【作者】 黄璇黄德欢

【Author】 Huang Xuan Undergraduate Student,Department of Automation,Tsinghua University,Beijing 100084.Huang Dehuan Senior Research Scientist,Japan Science and Technology Corporation,Tokyo,Japan;Stanford University,California,USA;Professor,Shanghai Jiaotong University,Shanghai 200030.

【机构】 清华大学自动化系日本科学技术振兴事业团

【摘要】 <正> 在当今的信息社会中,电子学的应用显得越来越重要。信息的获取、放大、存储、处理、传输、转换和显示都离不开电子学。电子学技术早已经成为人类经济的命脉。电子学未来的发展.将以"更小、更快、更冷"为目标。"更小"是进一步提高芯片的集成度,"更快"是实现更高的信息运算和处理速度。而"更冷"则是进一步降低芯片的能耗。只有在这三方面都得到同步的发展,电子学技术才能取得新的重大突破。数年前,根据电子器件"更小、更快、更冷"的发展目标,美国国防高等技术

【Abstract】 Several key issues of limiting the further development of microelectronics are discussed in this paper.It is expected that microelectronics will be eventually replaced by nanoelectronics in the first half of the 21st century.

【关键词】 光刻技术集成电路微电子器件
  • 【分类号】TN40
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