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扫描电镜及UPS故障检修二例
【摘要】 １扫描电镜故障现象一台Ｓ－２５００型扫描电镜，正常工作约半小时后，真空指示表降到１０－３乇，低真空指示灯亮，并发出报警器声。２分析和检修造成扫描电镜真空下降的原因一般有：循环水系统故障；仪器上各种阀门或Ｏ型密封圈问题；机械泵、扩散泵故障以及抽气管道漏...
- 【文献出处】 浙江农业大学学报 ,Journal of Zhejiang Agricultural University , 编辑部邮箱 ,1998年S1期
- 【分类号】TN16
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