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共光路外差干涉仪中激光束角漂移的影响

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【作者】 李鹏生； 于瀛洁； 张琢； 于英满；

【机构】 哈尔滨工业大学；

【摘要】 共光路外差干涉仪中激光束角漂移的影响＊李鹏生于瀛洁张琢于英满（哈尔滨工业大学哈尔滨１５０００１）０引言双频激光共光路外差干涉仪测量表面微细形貌原理如图１所示［１］，光路１和光路２的干涉信号的光强由光电元件接收。通过分析计算［２］，可得如下关系式：１．...

【关键词】 干涉仪测量； 光束角； 光电元件； 张琢； 光强； 光程差； 合率； 望远系统； 聚焦透镜； 光学系统；
【基金】 航天工业总公司资助的重点预研项目
  • 【文献出处】 仪器仪表学报 ,CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT , 编辑部邮箱 ,1998年02期
  • 【分类号】TH744.3
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