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略论离子注入表面改性技术的进展

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【作者】 王桂棠； 黄拿灿； 黄小平； 吴起； 白曾鹏；

【机构】 广东工业大学；

【摘要】 介绍了离子注入表面改性技术的基本原理、工艺特点、研究现状和工业应用情况。较全面地探讨了该技术的发展趋势和应用。提出了应继续改进和发展设备以进一步改善其效能，降低注入成本，并采取合适的产业政策。

【关键词】 离子注入； 表面改性； 进展；
【基金】 广东省自然科学基金
  • 【文献出处】 新技术新工艺 ,NEW TECHNOLOGY & NEW PROCESS , 编辑部邮箱 ,1998年05期
  • 【分类号】TN305.3
  • 【被引频次】15
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