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用于激光分子束外延的计算机控制和RHEED图像数据采集系统
【摘要】 激光分子束外延是近几年才出现的一种高精密新型制膜技术．文章较系统地介绍了我国第一台激光分子束外延设备的计算机控制和反射式高能电子衍射仪（ＲＨＥＥＤ）图像数据采集处理系统，其中包括结构原理、达到的性能指标和主要实验结果
【关键词】 激光分子束外延的计算机控制；
RHEED图像数据采集处理；
实验结果；
【基金】 国家自然科学重点基金,中国科学院和国家超导中心资助
- 【文献出处】 物理 ,PHYSICS , 编辑部邮箱 ,1998年06期
- 【分类号】TP274.2,TP13
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