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薄膜样品的表面状态及制备条件对椭偏仪测量结果的影响
Influence of the appearance and deposition condition of film-sample on the measured result of ellipsometer
【摘要】 本文比较了不同表面状态的薄膜和用不同制备条件获得的薄膜的折射率和厚度椭圆偏振光法(以下简称椭偏光法)测量的结果,并分析了引起测量结果偏差的原因.
- 【文献出处】 物理实验 ,PHYSICS EXPERIMENTATION , 编辑部邮箱 ,1998年03期
- 【分类号】O484.5
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