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薄膜样品的表面状态及制备条件对椭偏仪测量结果的影响

Influence of the appearance and deposition condition of film-sample on the measured result of ellipsometer

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【作者】 孙平郭屏

【Author】 Sun Pin et al

【机构】 北京师范大学物理系!100875

【摘要】 本文比较了不同表面状态的薄膜和用不同制备条件获得的薄膜的折射率和厚度椭圆偏振光法(以下简称椭偏光法)测量的结果,并分析了引起测量结果偏差的原因.

【关键词】 表面状态制备条件椭偏光法
  • 【文献出处】 物理实验 ,PHYSICS EXPERIMENTATION , 编辑部邮箱 ,1998年03期
  • 【分类号】O484.5
  • 【被引频次】5
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