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椭偏法测膜厚的直接计算方法

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【作者】 吴永汉； 窦菊英；

【机构】 云南大学物理系!昆明； 650091；

【摘要】 改进了椭偏法测薄膜折射率和膜厚的迭代计算方法，由测量得到的起偏角A和检偏角P直接算出薄膜折射率和膜厚．

【关键词】 直接计算方法； 检偏； 起偏角； 折射定律； 椭偏仪； 多光束干涉； 菲涅耳； 迭代计算； 反射光； 代入公式；
  • 【文献出处】 物理实验 ,PHYSICS EXPERIMENTATION , 编辑部邮箱 ,1998年01期
  • 【分类号】O484.5
  • 【被引频次】29
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