微电子技术发展趋势

【摘要】 1引言微电子技术，基于其重要的战略地位，工业发达国家和后起发展中国家和地区都视之为技术的制高点而拼力争夺，从而导致其持续高速发展。展望未来，传统领域的新推进或新突破仍将出现，一些新领域的研究开发也将取得重大进展。2深亚微米技术的突破目前，200Inxn晶圆片、0．35mp技术已达到批量生产能力，使这种技术的16Mb－32MbDRAM已成为存储器市场上的主流产品。为了适应技术发展和市场需要，业界近年主要致力于深亚微米（主要是0．25mp和0．18mp）技术的开发，采用这种技术的256MbDRAM和IGhDMM已取得可喜的进展，并正向生产阶段过渡。据分析，1998年开始，O．25mp技术将在较多的更多还原