【摘要】 概括了光束质量的表示方法，由衍射极限倍数的定义出发，提出重点在于选取光斑直径，而且可把光斑测量归结到电子测试仪对剪切电平的测量上。给出了电子测试仪的测试原理，由所测光斑直径计算了氧碘化学激光器ＵＲ－９０腔的光束质量指标—衍射极限倍数，达到了１．２～１．６倍衍射极限，最后进行了误差讨论更多还原

【Abstract】 Methods of beam quality and the principle of laser beam analyzer are generally described.The results of 1.2～1.6 diffraction limits in a supersonic COIL with UR 90 cavity and the errors are discuss are given.更多还原