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半导体材料加工推行清洁生产刍议
【摘要】 推行清洁生产是控制环境污染，降低末端处理负担，实现节能、降耗、减污、增效的有效手段。本文针对砷化镓和磷化镓材料加工，提出了查清源头、减污方案及优化末端处理等途径。
- 【文献出处】 有色金属(冶炼部分) ,NONFERROUS METALS (EXTRACTIVE METALLURGY) , 编辑部邮箱 ,1998年03期
- 【分类号】X383,TN304
- 【被引频次】2
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【摘要】 推行清洁生产是控制环境污染，降低末端处理负担，实现节能、降耗、减污、增效的有效手段。本文针对砷化镓和磷化镓材料加工，提出了查清源头、减污方案及优化末端处理等途径。