用发射光谱法测量ECR等离子体的特性

【摘要】 利用光谱技术研究等离子体的有关特性，已被许多科技工作者采纳．而发射光谱技术，具有设备简单、无污染、易于控制等优点，特别是当人们只关心等离子体参数的相对值及其随放电条件的变化规律时，更容易被采用．本文利用发射光谱法对双共振腔、大真空室微波等离子体源的特性进行了测量，得到了在不同的工作气压、不同的输入微波功率、室中不同位置的等离子体的发射光谱的规律．实验记录了不同条件下，在400～800urn波段，Ar原子谱和Ar+离子谱，结果表明；1）反应室中心处，压强一定，微波功率在400～900W之间变化时，不论是离子线还是原子线，强度均有一极大值时应功率550W）．可见微波功率低于550W时，电子对微波能更多还原