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准分子激光合成晶态C3N4薄膜机理研究

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【作者】 傅广生； 于威； 陈艳梅； 闫正卯； 任国斌；

【机构】 河北大学物理系!保定； 071002；

【关键词】 晶态； C3N4； 准分子激光； 薄膜淀积； 光学多道分析； 发射谱； 光电子能谱； 衬底温度； 扫描电子显微镜； 衍射谱；
  • 【文献出处】 量子电子学报 ,CHINESE JOURNAL OF QUANTUM ELECTRONICS , 编辑部邮箱 ,1998年06期
  • 【分类号】TN24
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