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洁净室标准的国际化趋势

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【作者】 严德隆；

【机构】 中国电子工程设计院；

【摘要】 <正> 本文以美国洁净室标准FS-209为基础,对比有关各国的洁净室标准的内容范围及洁净度等级,并着重对洁净室洁净度等级的划分、命名及级限进行分析;对洁净室标准国际化工作及其进展情况进行介绍。 1 有关各国的洁净室(包括洁净室及相应被控环境)标准现状

【关键词】 洁净室； 洁净度； 标准国际化； 浓度限值； 环境设计； 微生物污染控制； 英制单位； 无无； 当前标准； 编制组；
  • 【文献出处】 洁净与空调技术 ,Contamination Control & Air-conditioning Technology , 编辑部邮箱 ,1998年02期
  • 【分类号】TU831
  • 【被引频次】8
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