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基于光聚焦探测法的表面粗糙度非接触测量系统
【摘要】 本文介绍了基于光聚焦探测法的表面粗糙度非接触测量系统。该系统特别适合于接触测量易引起表面损害的软材料，如橡胶、纸张、磁带；硬材料，如硬金属、陶瓷；以及软材料覆盖表面，如磁盘等。
【基金】 国家自然科学基金
- 【文献出处】 计量技术 ,MEASUREMENT TECHNIQUE , 编辑部邮箱 ,1998年09期
- 【分类号】TB96
- 【被引频次】16
- 【下载频次】126