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电子束蒸发 WO3-基气敏薄膜特性的研究
The Properties of WO 3 Based Gas Sensitive Films Prepared by Electron Beam Evaporation
【摘要】 介绍了用电子束蒸发制作ＷＯ３气敏薄膜、溅射掺Ａｕ、膜的热处理工艺以及对Ｈ２Ｓ气体的敏感特性测量的初步结果．着重讨论了ＷＯ３膜的稳定化过程．
【Abstract】 The WO 3 based gas sensitive films were prepared by electron beam evaporation. The D.C. sputtering technology used to dope Au, the heat treatment of the films, and preliminary test results of the sensitivity characteristic of H 2S gas are described. The process of stabilization of the structure and the composition of films is discussed.
【关键词】 金属氧化物半导体；
气敏元件；
电子束蒸发；
WO3薄膜；
【Key words】 metal oxide semiconductors； gas sensors； WO 3 based films； electron beam evaporation；
【Key words】 metal oxide semiconductors； gas sensors； WO 3 based films； electron beam evaporation；
【基金】 湖北省自然科学基金
- 【文献出处】 华中理工大学学报 ,JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY , 编辑部邮箱 ,1998年03期
- 【分类号】TN304.21
- 【被引频次】5
- 【下载频次】49