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一种基于表面微机械加工技术的单晶硅微谐振器
A Silicon Microresonator Fabricated by Surface Micromachining
【摘要】 在分析简振梁模型的基础上设计了一种硅微谐振器,探讨了硅的表面加工技术在制作三维零部件中的应用,利用这种技术成功地制作了硅微谐振器的单晶硅谐振梁。
【Abstract】 A microresonator is designed by analyzing the simple harmonic vibration of beam. A silicon surface micromachining is used for fabrication of 3-dimensional micro-structure of silicon. And a silicon resonant beam of microresonator has been produced using this technique.
【基金】 国家自然科学基金(69376028)
- 【文献出处】 哈尔滨工业大学学报 ,Journal of Harbin Institute of Technology , 编辑部邮箱 ,1998年03期
- 【分类号】TH16
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