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NDR系列声表面波谐振器批生产技术研究

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【作者】 陈培棣； 蒋海涛； 尤民； 孙娟； 夏兆锋；

【机构】 南京电子器件研究所；

【摘要】 声表面波谐振器作为频率控制元件，要求谐振频率准确，批量生产技术难度较大。本文对批生产的要素，关键工艺技术和工艺过程质量控制等方面进行了讨论。已批量生产的NOR系列声表面波谐振器三大系列百余品种，性能均达到国外同类器件水平，生产线通过ISO9002质量保证体系认证。

【关键词】 声表面波； 声表面波器件； 谐振器； 质量控制；
  • 【文献出处】 电子工程师 ,ELECLIONCI ENGINEER , 编辑部邮箱 ,1998年04期
  • 【分类号】TN713.2
  • 【被引频次】1
  • 【下载频次】25
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