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X光透镜及其应用

X-RAY LENS AND ITS APPLICATIONS

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【作者】 王大椿； 颜一鸣； 赫业军； 丁训良； 陈宝振； 魏富忠； 刘安东； 罗萍； 陈俊； 李玉德； 潘世友； 施修龄；

【Author】 Wang Dachun\ Yan Yiming\ He Yejun\ Ding Xunliang\ Chen Baozhen Wei Fuzhong\ Liu Andong\ Luo Ping\ Chen Jun\ Li Yude\ Pan Shiyou\ Shi Xiuling (Institute of Low Energy Nuclear Physics, Beijing Normal University (Beijing Radiation Center), Beijing, 100875

【机构】 北京师范大学低能核物理研究所；

【摘要】 着重介绍了Ｘ光透镜的原理、制作方法，及其在Ｘ光产业中的应用和发展前景．

【Abstract】 The principle and the fabrication of X-ray focusing system——X-ray lens and its application are introduced briefly. An analysis on the prospects of application of this new technique in X-ray industry are also described.

【关键词】 X光光学； X光透镜； X光聚束系统； X光光刻；
【Key words】 X-ray optics； X-ray lens； X-ray focusing system； X-ray lithography；
【基金】 国家航天总公司、原国家教委和国家自然科学基金
  • 【分类号】O434.19
  • 【被引频次】5
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