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半导体传感器在中国的研究和发展

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【作者】 李先文； 黄强；

【机构】 陕西渭南师范专科学校化学传感器研究室； 陕西渭南师范专科学校化学传感器研究室 714000； 714000；

【摘要】 本文评述了中国自80年代开展半导体传感器研究以来的情况,内容包括概述、各种ISFET器件、分析技术等.

【关键词】 离子敏感场效应晶体管(ISFET)； 半导体传感器； 气敏场效应晶体管； 化学传感器；
  • 【分类号】F426.6
  • 【被引频次】7
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