SAW气体传感器自动测试系统

【摘要】 <正>声表面波气体传感器的性能在很大程度上取决于涂覆在其表面的化学界面膜的性能。因此,制作这种气体传感器的首要的任务是筛选制作这一界面膜的原材料。于是,对制成样膜的气敏性能要进行测试,诸如灵敏度、选择性、响应和恢复时间、可逆性、可重复性、可靠更多还原