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浅析磁控溅射镀膜玻璃“针孔”和“脱膜”现象
【摘要】 根据多年维修、管理美国AIRCO(爱柯)磁控溅射镀膜玻璃生产线的实践经验,全面分析了磁控溅射镀膜玻璃“针孔”和“脱膜”等膜面质量问题的原因和解决方法。
- 【文献出处】 玻璃 ,Glass , 编辑部邮箱 ,1998年05期
- 【分类号】TQ171.724
- 【被引频次】1
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【摘要】 根据多年维修、管理美国AIRCO(爱柯)磁控溅射镀膜玻璃生产线的实践经验,全面分析了磁控溅射镀膜玻璃“针孔”和“脱膜”等膜面质量问题的原因和解决方法。