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光记录介质反射膜用铝合金薄膜及其溅射靶材
【摘要】 扼要介绍了光记录介质反射膜的发展。指出了纯铝及早期的铝合金光记录介质反射膜及其靶材存在的问题。最后介绍了几类新型铝合金反射膜及其靶材。
- 【文献出处】 稀有金属 ,CHINESE JOURNAL OF RARE METALS , 编辑部邮箱 ,1997年05期
- 【分类号】TQ57
- 【被引频次】4
- 【下载频次】129
【摘要】 扼要介绍了光记录介质反射膜的发展。指出了纯铝及早期的铝合金光记录介质反射膜及其靶材存在的问题。最后介绍了几类新型铝合金反射膜及其靶材。