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小型腔式微波离子源的等离子体产生及引出特性
【摘要】 研制了一种用石英管制作的小型腔式微波离子源,该腔套在石英管的一端,封装两电极引出系统。该离子源利用腔激发起的表面波在石英管内产生等离子体柱。在微波频率为2.45GHz、输入功率为93W时,氮的引出离子流密度可高达91.7mA/cm2。这种表面波放电等离子体源具有体积小、结构简单,在宽的压强范围内能产生再生性好、工作十分稳定的等离子体柱(1012~1013cm-3)等特点。还给出了放电的自一致描述以及放电的电子密度与压强、等离子体柱半径和输入功率的关系。
- 【文献出处】 真空科学与技术 , 编辑部邮箱 ,1997年06期
- 【分类号】O531
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