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一种新型硅微机械粘滞型谐振真空计
A Novel Silicon Micromechanical Resonant Viscosity Vacuum Gauge
【摘要】 在对静电激励硅微机械谐振真空传感器研究的基础上，实现了一种新型的粘滞型谐振真空计。并给出了理论分析和实验结果。测试表明，其有效量程为1～1．33×103Pa。
【Abstract】 A new type of resonant viscosity vacuum gauge based on the electrostatically excited silicon micromechanical resonant vacuum sensor has been developed,that can measure the pressures over a range from 1Pa to 1. 33 ×103 Pa. The theoretical analysis and the experimental results are presented.
【关键词】 静电力；
微机械；
谐振真空传感器；
闭环振荡电路；
粘滞型谐振真空计；
【Key words】 Electrostatic force； Micromachine； Resonant vacuum sensor； Closed-loop oscillating circuit； Resonant viscosity vacuum gauge；
【Key words】 Electrostatic force； Micromachine； Resonant vacuum sensor； Closed-loop oscillating circuit； Resonant viscosity vacuum gauge；
【基金】 国家重点自然科学基金!69236022
- 【文献出处】 真空科学与技术 , 编辑部邮箱 ,1997年03期
- 【分类号】TB77
- 【被引频次】11
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