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曝气膜片穿孔机研究

Peretratting Machine Used in Exposure Chips

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【作者】 金毅南余荣侯志林李秋娥

【Author】 Jin Yi ;Nan Yurong(College Of Information Engineering, Zhejiang University of Technology , HangZhou 310032)Hou Zhilin; Li Qiuer(Xi’an University of science and Technology, Xi’an 710048)

【机构】 浙江工业大学信息工程学院!杭州310032西安理工大学自动化及信息工程学院!西安710048

【摘要】 讨论了曝气膜片穿孔机的研制和方案结果。试验结果表明,本机填补国内空白,实现了曝气膜片穿孔加工的国产化;经本机穿孔的膜片性能优于从国外进口的膜片,达到了90年代国际先进水平.

【Abstract】 The paper discusses the development scheme and result of Peretratting machine used inthe exposure chips in considerable detail. The experimented result shows that the machine fillsthe gaps in this area of our country, and now the peretratting of the exposure chips can bemade in our country. The preformance of the chips peretratted by the machine is better thanthose imported from abroad, and achieves international advanced level of 199O’s.

【关键词】 曝气器膜片穿孔机
【Key words】 Exposure machine Chips Peretratting machine
  • 【文献出处】 浙江工业大学学报 ,Journal of Zhejiang University of Technology , 编辑部邮箱 ,1997年01期
  • 【分类号】X703.3
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