高分辨率位移测量系统的研究

【摘要】 1引言位移测量是各种测量的基础，利用单膜光纤干涉仪测量位移，是当前世界各国科技界的研究热点之一，由于它具有以下优点，所以得到世界各国的高度重视。（1）分辨率高，例如光纤位移传感器，其灵敏度在理论上为10－13m。（2）为无源器件，对被测对象不产生影响。（3）频带宽，动态范围大，且对许多物理量都敏感。（4）光纤是电介质，绝缘体，耐高压，耐腐蚀，能在易燃、易爆的环境下可靠运行。（5）光纤传感与光通讯、光计算、光存储等技术兼容，是一种极有发展的传感技术。为此，我们研制出了高分辨率的光纤位移传感测量仪，现已通过专家鉴定。经中国计量科学院标定及现场测试，位移的分辨率及精度都高达埃级以上，其主要技术指标已更多还原