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在线表面粗糙度外差干涉仪中测量信号的自动电压控制

Implementation of Automatic Voltage Control of Online Heterodyne Interferometer for Measuring Surface Roughness

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【Author】 Zhao Hongzhi,Liang Rong, Li Dacheng, Cao Mang(Dept. Of Precision Instruments, Tsinghua University, Beijing 100084)

【机构】清华大学精仪系!北京； 100084；

【摘要】光外差表面粗糙度在线干涉测量仪中，待测表面粗糙度的差异，使得从待测表面返回的测量信号在幅度上有很大的起伏，而使表面粗糙度测量结果的精度大大降低。本文着重讨论了测量信号的自动电压控制的原理及设计中的考虑，所制作的自动电压控制电路输入信号峰-峰值的动态范围1mV～5V，输出信号峰一峰值最大变化小于±10mV。结出了实验结果。更多还原

【关键词】外差干涉；表面粗糙度；自动电压控制；
【Key words】 heterodyne interferometer； surface roughness； automatic voltage control；

【基金】香港蒋氏工业慈善基金

【文献出处】应用激光 ,APPLIED LASER , 编辑部邮箱 ,1997年03期

【分类号】TG665
【下载频次】48

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