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薄膜的表面修饰对气体敏感特性的影响￣①

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【作者】 戴国瑞； 管玉国； 焦伯恒； 南金； 孙太玺； 朱勇； 韩征； 许秀来；

【机构】 吉林大学电子工程系；

【摘要】 采用ＰＥＣＶＤ方法制备了氧化物簿膜，为了改善气体敏感特性，将几种元素覆盖于薄膜表面进行了表面修饰。

【关键词】 氧化物薄膜； 表面修分类号TN304l．21随着微电子、高技术科学的发展； 利用生产集成电路的平面工艺技术研究薄膜型气体传感器及其阵列； 目前引起民国内外广泛关注（‘； ’］．如果氧化物薄膜材料能像烧结型元件一样可以方便地掺入具有催化作用贵金属（”‘］和外电子壳层未填满?；
  • 【文献出处】 云南大学学报(自然科学版) ,JOURNAL OF YUNNAN UNIVERSITY (NATURAL SCIENCES) , 编辑部邮箱 ,1997年01期
  • 【分类号】O484
  • 【被引频次】3
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