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介电多层膜与人工介电超晶格的研究

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【摘要】 近年来,铁电薄膜制备技术的迅速发展使得人工介电超晶格的生长成为现实。简要介绍了有关介电多层膜和人工介电超晶格的制备、结构和性能的研究状况,讨论了进一步研究需解决的问题。

【关键词】 介电多层膜人工介电超晶格制备结构性能
  • 【文献出处】 压电与声光 ,PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS , 编辑部邮箱 ,1997年05期
  • 【分类号】O484.8
  • 【被引频次】5
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