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76MHz激光扫描声学显微镜的研究和试制
【摘要】 描述７６ＭＨｚ激光扫描声学显微镜的研究试制工作，介绍了激光扫描声学显微镜的基本结构。测试结果表明，该显微镜的分辨率达３０μｍ，探测深度达２ｍｍ，扫描面积达３ｍｍ×４ｍｍ，并已应用于多层陶瓷电容器的无损检测。最后给出了一些样品的声学像。
【基金】 国防科工委资助
- 【文献出处】 压电与声光 ,PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS , 编辑部邮箱 ,1997年05期
- 【分类号】TH742
- 【被引频次】3
- 【下载频次】59