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用于φ2mm电磁型微马达的微3K-2型行星齿轮减速器的研究

A STUDY ON MICRO 3K-2 PLANETARY GEARS REDUCTION DRIVER FOR φ2mm ELECTRONIC-MAGNETIC MICROMOTOY

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【Author】 Chen Wenyuan; Ding Tao; Li Shdeng; Yao Jingyuan (Information Storage Research Center of Shanghai Jiao tong University, Shanghai 200030)

【机构】上海交通大学信息存储研究中心!上海； 200030；

【摘要】本文仅就用于微马达的微3K－2型行星齿轮减速器的设计，微细电火花（EDM；electricaldischargemachining）加工以及研究中的一些难点作一阐述。更多还原

【Abstract】 In this article, The design of 3K-2 micro planetary gear reduction driver that is used for micro motor, as well as micro electrical discharge machining (EDM) manufacture and some problems during the study were discussed更多还原

【关键词】微型机电系统；微细EDM；微摩擦；
【Key words】 Microelectromechanical system； micro electrical discharge machining； micro friction；

【文献出处】微细加工技术 ,MICROFABRICATION TECHNOLOGY , 编辑部邮箱 ,1997年04期

【分类号】TP21
【被引频次】17
【下载频次】142

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