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新型电子清洗工艺

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【作者】 马洪磊； 曹宝成； 宗福建； 李玉香；

【机构】 山东大学光电材料与器件研究所!济南250100；

【关键词】 清洗工艺； 新型电子； 超声波清洗； 金属粒子； 少子； 清洗效果； 生物需氧量； 电荷密度； 废水排放标准； 化学耗氧量；
  • 【文献出处】 微电子技术 ,MICROELECTRONIC TECHNOLOGY , 编辑部邮箱 ,1997年01期
  • 【分类号】TN431
  • 【被引频次】9
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