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GaAs 薄膜电沉积的机理与工艺研究

A STUDY ON THE MECHANISM AND TECHNOLOGY OF THE GaAs FILM ELECTRODEPOSITION

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【作者】 韩爱珍； 林逸青； 赵永春； 高元恺；

【Author】 Han Aizhen Lin Yiqing Zhao Yongchun Gao Yuankai (Harbin Institute of Technology,Harbin 150001)

【机构】 哈尔滨工业大学；

【摘要】 报道了电共沉积制备ＧａＡｓ簿膜的原理与工艺。通过优化工艺参数，在不同的基片上成功地得到了成分接近化学计量比的ＧａＡｓ薄膜。

【Abstract】 Electradeposition mechanism and technology for preparing GaAs films is described in this paper. The near stoichiometric GaAs film on the different substrates is obtained.

【关键词】 GaAs薄膜； 电沉积； 机理； 工艺；
【Key words】 GaAs film； electrodeposition； mechanism； technology；
  • 【文献出处】 太阳能学报 ,ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA , 编辑部邮箱 ,1997年04期
  • 【分类号】TB43
  • 【被引频次】2
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