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高温压力传感器温度特性的改善

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【作者】 姚素英； 毛赣如； 曲宏伟； 张维新； 张荣；

【机构】 天津大学电子信息工程学院；

【摘要】 分析研究了多晶硅电阻对半导体高温压力传感器温度特性的影响，找到了改善传感器温度性能的最佳途径。研制出工作温度为２５０°Ｃ、压力量程为０～１ＭＰａ、灵敏度大于４０ｍＶ／ｍＡＭＰａ的传感器。

【关键词】 传感器； 固体电路； 多晶硅；
【基金】 国家自然科学基金
  • 【分类号】TN379
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