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透射电子显微镜高压电子枪的真空检漏

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【摘要】 喷射氟里昂是真空检漏中一种简单而实用的方法.日本HITACHI透射电子显微镜经维修后,其高压电子枪的真空度达到1.33×10-3Pa,灯丝的寿命超过70h,为HITACHI公司所给指标的两倍.

【关键词】 透射电子显微镜电子枪真空
  • 【文献出处】 理化检验(物理分册) ,Physical Testing and Chemical Analysis Part A Physical Testing , 编辑部邮箱 ,1997年07期
  • 【分类号】TB774
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