微波激励N₂等离子体的激光干涉测量

【摘要】 近年来，超硬材料C3N4、GaN蓝光二极管激光引起人们的极大兴趣。另一方面汽车排放的NO对环境的污染也令人关注．为此，人们对N2等离子体的产生及其参数的测量进行了大量的研究。其中特别着重对微波激励N2的气体辉光放电进行研究，因为这种辉光放电效率高，安全可靠，并将有助于制备出优质的新材料、新器件，同时将有可能将NO转化为无害的化合物。本文将给出我们且近研制出的时间、空间可控的微波激励气体放电等离子体源，其结构参数是采用商用程序MAFIA算出的。放电腔尺寸为～90mm。fiX）mm，模式为TEMllD，微波输入盲目采用一10omm。IOmm石英镑片，有4个60mmx30mm测量匐，装有气体循环系统更多还原