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微电子机械系统研究的新动向

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【作者】 干东英；

【机构】 中科院长春光机所；

【摘要】 本文综述了当今微电子机械系统的新动向，并列举国际上已达到或接近应用的先进实例以飨读者，供规划参考之用

【关键词】 微电子机械； 微型仪器； 微型机械；
  • 【文献出处】 机械设计与研究 ,MACHINE DESIGN AND RESEARCH , 编辑部邮箱 ,1997年01期
  • 【分类号】TH703.8
  • 【被引频次】9
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