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高精度扩散硅压力传感器的温度补偿
【摘要】 本文分析了扩散硅压力传感器的零点、零位温度系数及灵敏度温度系数三个基本参数并给出了温度补偿的计算公式。理论及实践均表明：采用此种方法补偿扩散硅压力传感器能满足高精度压力测量的要求。
- 【文献出处】 计量与测试技术 ,METRLOGY AND MEASUREMENT TECHNIQUE , 编辑部邮箱 ,1997年04期
- 【分类号】TM54
- 【被引频次】5
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【摘要】 本文分析了扩散硅压力传感器的零点、零位温度系数及灵敏度温度系数三个基本参数并给出了温度补偿的计算公式。理论及实践均表明：采用此种方法补偿扩散硅压力传感器能满足高精度压力测量的要求。