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BaTiO₃铁电薄膜的原子层水平外延生长

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【作者】王会生；马昆；刘彦巍；彭志强；刘维；崔大复；吕惠宾；周岳亮；陈正豪；李林；杨国桢；

【机构】中国科学院物理研究所光物理实验室和中国科学院凝聚态物理中心；国家超导实验室和中国科学院凝聚态物理中心；中国科学院物理研究所和中国科学院凝聚态物理中心!北京1000；

【摘要】利用激光分子束外延镀膜设备,实现了原子层水平BaTiO₃（BTO）薄膜的外延生长.高能电子衍射（RHEED）、X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜和透射电子显微镜（TEM）等研究结果表明,薄膜的结构为c-取向单相BTO铁电薄膜,表面非常平整。在此基础上制备了铁电/超导多层异质结构.研究了BTO薄膜的铁电性质。结果表明用激光分子束外延方法有利于改进BTO薄膜的质量,提高薄膜器件的性能。更多还原

【关键词】激光分子束外延； BaTiO₃；薄膜；结构分析；铁电性质；

【基金】国家自然科学基金;中华人民共和国财政部;国家超导研究中心;中国科学院;国家教委回国人员专项基金资助项目

【文献出处】中国科学(A辑数学物理学天文学技术科学) ,Science in China,Ser.A , 编辑部邮箱 ,1997年01期

【分类号】O484.1
【被引频次】1
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