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SnO2 薄膜光谱透过率及气敏特性研究

STUDY OF SPECTRAL TRANSMITTANCE AND GAS SENSITIVE CHARACTERISTICS OF SnO 2 FILM

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【作者】 邓华秋翁文华孙付刚谢楠

【Author】 Deng Huaqiu Weng Wenhua Shun Fugang Xie Nan (Dept.of Applied Physics, South China Univ.of Tech. Guangzhou 510641)

【机构】 华南理工大学应用物理系

【摘要】 研究了半导体氧化物SnO2膜及其掺杂薄膜的光谱透过率气敏特性,导出了光波在固体介质中传播时的光折射率、消光系数、吸收系数的表示式,以及在“空气—薄膜—玻璃”三元系统中光透过率的近似表达式;解释了气敏使半导体氧化物薄膜系统光透过率变化的原因。所有这些结果与解释,与我们的实验结果相一致,也与一些文献报导的实验结果相符合[1,2]。

【Abstract】 This paper studies spectral transmittance and gas sensitive characteristics of SnO 2 and its doped films,gives expressions of refractivity.extinction and absorbent coefficient of light waves travelling through solid medium and an approximate expression of light transmiting gas film glass system,explains why gas sensitivity makes fractral transmittance of semiconductive oxide film changeable.The results coincide with those from our experiments and some references .

【关键词】 氧化物薄膜气敏透过率
【Key words】 oxidefilmgas sensitivitytransmittance
【基金】 国家自然科学基金,广东省自然科学基金
  • 【文献出处】 华南理工大学学报(自然科学版) ,JOURNAL OF SOUTH CHINA UNIVERSITY OF TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE) , 编辑部邮箱 ,1997年05期
  • 【分类号】TN304
  • 【被引频次】2
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