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CZ单晶炉单晶等径生长计算机控制系统
The Computer Control System for Single Crystal Growing with a Constant Diameter in CZ Crystal Growing Furnace
【摘要】 本文介绍了CZ单晶炉单晶等径生长计算机控制系统,简述了计算机硬件结构和软件设计原理。
【Abstract】 This paper describes the computer system for single crystal growing with a constant diameter in CZ crystal growing furnace,and introduces the design prineiple of hardware and software.
- 【文献出处】 工业控制计算机 ,INDUSTRIAL CONTRAL COMPUTER , 编辑部邮箱 ,1997年05期
- 【分类号】TP273
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